全自動晶圓盒清洗機(jī)（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:適用場景：用DIW/有機(jī)溶劑（可選）實(shí)現(xiàn)FOUP清潔，通過高速旋轉(zhuǎn)/紅外燈管/CDA等多種技術(shù)實(shí)現(xiàn)FOUP干燥。設(shè)備特點(diǎn)：清洗對象：6/8/12半自動FOUP/Cassette/POD。設(shè)備主要構(gòu)成：旋轉(zhuǎn)鼠籠(便捷式可180°旋轉(zhuǎn)后固定結(jié)構(gòu))、DIW噴淋系統(tǒng)、紅外加熱干燥系統(tǒng)、有機(jī)溶劑清洗系統(tǒng)（可選）等機(jī)構(gòu)組成。清洗能力：8只FOUP/小時(shí)（依配置的清洗腔真空腔數(shù)量而定）。干進(jìn)干出。人工分離FOUP、POD，人工上下料及更換工裝。旋轉(zhuǎn)式離心清洗，可正反調(diào)速旋轉(zhuǎn)，對于產(chǎn)品表面的附著殘留物容易去除。工裝設(shè)有防呆機(jī)構(gòu)，防止人工將清洗件放置錯(cuò)誤。鼠籠設(shè)有旋轉(zhuǎn)到位防呆檢測。動平衡偵測轉(zhuǎn)籃未定位保護(hù)，降低因人為導(dǎo)致設(shè)備損壞。主軸以伺服馬達(dá)控制達(dá)到穩(wěn)定加減速及轉(zhuǎn)速數(shù)值化設(shè)定控制，主軸震動值可監(jiān)測。可預(yù)設(shè)多條Recipe，操作簡潔。選配SECS/GEM接口。可實(shí)現(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯，具有過點(diǎn)信息、狀態(tài)監(jiān)控、故障匯總、訂單下發(fā)等功能。 選擇芯夢設(shè)備，讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動化！甘肅購買清洗機(jī)設(shè)備展會

FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）清洗設(shè)備是用于清洗和處理半導(dǎo)體制造中使用的FOUP（前開式統(tǒng)一載具）的設(shè)備。FOUP是一種用于運(yùn)輸和儲存半導(dǎo)體晶圓的載具，通常由塑料材料制成，具有前開式設(shè)計(jì)和統(tǒng)一的尺寸標(biāo)準(zhǔn)。FOUP清洗設(shè)備的作用是將FOUP清洗干凈，去除表面的污染物和顆粒，以確保在半導(dǎo)體制造過程中使用的晶圓始終保持良好的潔凈度。FOUP清洗設(shè)備通常具有以下主要組成部分：清洗艙：清洗艙是FOUP放置和清洗的區(qū)域。它通常包括一個(gè)容納FOUP的托盤或夾具，并配備噴淋裝置、超聲波清洗器、噴氣裝置等清洗裝置。氣流系統(tǒng)：氣流系統(tǒng)用于提供潔凈的氣流環(huán)境，以防止新的顆粒進(jìn)入FOUP。它通常包括高效過濾器和空氣凈化系統(tǒng)，以確保提供高質(zhì)量的潔凈氣氛?？刂葡到y(tǒng)：控制系統(tǒng)用于監(jiān)控和控制清洗設(shè)備的運(yùn)行。它包括傳感器、執(zhí)行器和計(jì)算機(jī)控制單元，用于監(jiān)測和調(diào)節(jié)清洗過程中的溫度、壓力、時(shí)間等參數(shù)。水處理系統(tǒng)：水處理系統(tǒng)用于提供清潔的水源，用于清洗FOUP。它通常包括反滲透系統(tǒng)、離子交換器和過濾器，以去除水中的離子、顆粒和有機(jī)物。遼寧本地清洗機(jī)設(shè)備展會江蘇芯夢，值得你的信賴！

全自動FOUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中的清潔衛(wèi)士。它的性能和創(chuàng)新的設(shè)計(jì)，為FOUP的清潔提供了可靠的解決方案。該清洗機(jī)采用了先進(jìn)的機(jī)械臂技術(shù)，能夠精細(xì)地抓取和移動FOUP，確保清洗過程的平穩(wěn)和高效。其內(nèi)部的多噴頭設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)噴淋，無死角地清潔FOUP的各個(gè)部位。同時(shí)，機(jī)器還具備自我診斷和故障報(bào)警功能。一旦出現(xiàn)異常情況，它會及時(shí)發(fā)出警報(bào)并停止運(yùn)行，很大程度地減少損失。比如，當(dāng)清洗劑不足或壓力異常時(shí)，系統(tǒng)會立即提醒操作人員進(jìn)行處理。

我們的FOUP清洗機(jī)具有多項(xiàng)**性能設(shè)計(jì)，以確保在使用過程中盡可能地降低風(fēng)險(xiǎn)和保護(hù)操作人員的**。以下是我們清洗機(jī)的**性能介紹：

DBPS動平衡保護(hù)；

WirelessSensorfool-proofProtectionSystem；

無線傳感器保護(hù)系統(tǒng)；

LPLPS防漏液保護(hù)；

LLPS液位防護(hù)；

Hightemperatureinterlockcontrolprotection高溫聯(lián)鎖控制防護(hù)；

Interlockprotectionofelectriccabinet內(nèi)置門電控箱聯(lián)鎖防護(hù)；

WindPressureProtection風(fēng)壓防護(hù)；

Cassette表面保護(hù) 我司設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，性能可靠，是你的生產(chǎn)好幫手！

我們提供各種半導(dǎo)體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗，并防止細(xì)菌滋生專項(xiàng)研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式，實(shí)現(xiàn)超微精密清洗，節(jié)能設(shè)計(jì);高效干燥技術(shù)，AMC化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過程實(shí)時(shí)監(jiān)控，兼容自動傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300，符合SEMIS2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量，占地面積設(shè)計(jì)。

我們的晶圓盒清洗機(jī)采用智能化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，適合各種生產(chǎn)場景。外觀精美，質(zhì)感上乘，提升了生產(chǎn)品質(zhì)。同時(shí)，我們的晶圓盒清洗機(jī)具有多種智能功能，能夠自動識別晶圓盒類型，自動調(diào)整清洗和干燥的參數(shù)，保證清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。操作簡單，維護(hù)方便，降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機(jī)，讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、便捷！

芯夢設(shè)備采用先進(jìn)的生產(chǎn)工藝，幫助你實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)！貴州晶圓清洗機(jī)設(shè)備展會

江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司是你的必備之選！甘肅購買清洗機(jī)設(shè)備展會

FOUP內(nèi)的污染物可以來自多個(gè)來源，以下是其中一些常見的來源：過程殘留物：在半導(dǎo)體制造過程中，涉及到各種化學(xué)物質(zhì)、溶劑、清洗劑等。這些物質(zhì)可能在晶圓處理過程中殘留在FOUP內(nèi)，成為污染物的來源。顆粒物：在半導(dǎo)體制造環(huán)境中，微小顆粒是一個(gè)主要的污染源。這些顆?？梢詠碜钥諝庵械幕覊m、工作環(huán)境的雜質(zhì)、設(shè)備的磨損等。這些顆粒物有可能通過FOUP的開口進(jìn)入FOUP內(nèi)部，導(dǎo)致污染。人為操作：在FOUP的處理、維護(hù)和運(yùn)輸過程中，如果操作不當(dāng)，例如沒有正確地清潔操作工具、使用臟手觸摸FOUP等，都會引入污染物。傳輸和存儲過程：FOUP在制造過程中需要經(jīng)過多個(gè)環(huán)節(jié)的傳輸和存儲，包括機(jī)器之間的傳輸、暫存庫等。在這些過程中，如果傳輸設(shè)備或存儲環(huán)境不潔凈，或者FOUP密封不嚴(yán)密，都會導(dǎo)致污染物進(jìn)入FOUP內(nèi)。外部環(huán)境污染：FOUP在制造過程中可能暴露在環(huán)境中，例如在潔凈室內(nèi)。如果潔凈室內(nèi)的空氣質(zhì)量不佳，存在空氣中的微塵和顆粒物可能會進(jìn)入FOUP內(nèi)部，并成為污染源。甘肅購買清洗機(jī)設(shè)備展會